EGURO开发加工精度1.0μm以下的超高精度CNC车床

　　日本EGURO（长野县冈谷市）开发出加工精度极佳的CNC车床“100-Nano”，并在“第24届日本国际机床展（JIMTOF2008）”（2008年10月30日～11月4日，东京有明国际会展中心）上展出（图1、2）。加工精度在1.0μm以下。旨在以超精密旋削技术支援客户开拓新市场（图3）。

图1 可进行超微细加工的CNC车床

图2 加工部分。截面为“V”字形的滑轨左右各设置1条，提高了X轴的直进性

图3 工件样本。加工出镜面状的漂亮半球

　　夹持工件的主轴采用空气静压轴承。X轴和Z轴分离，采用误差不叠加的结构。滑轨方面，左右各设置1条截面呈倒V字形突出的滑轨，提高了直进性。在倒V字形的表面上熔射具有滑动性的钼形成皮膜，然后打磨加工。底座采用热膨胀系数低、振动衰减特性良好的人工花岗岩，提高了抗热变动和振动性能。

　　藉此X轴的追踪精度达到0.5μm，Z轴达到1.0μm，圆度达到0.05Mμm。

　　价格为1800万日元（不含税）。