
图3:激光光束通过扫描系统聚焦(左起):预聚焦透镜,
F-Theta镜头,动态预聚焦,以及动态预聚焦与F-Theta镜头组合。
焦斑的直径由镜头的焦距 f,可处理的表面面积,以及激光类型和扫描头的孔径等因素决定。对高斯分布的光束来说,其焦斑直径s,可以通过以下公式计算:
s = λf M2 k / d
这里,λ是激光波长,M2表征光束质量,d是经过聚焦光学系统前的光束直径。参数k表征激光光束由于孔径或者是在镜头内时产生的衍射效应。为了使焦点处的功率密度达到最大,即,提高加工速度,光束宽度必须扩展至与扫描头孔径相等。这种情况下,k = 1.83。
在一些应用中,快速移动的透镜系统被置于扫描器前端,用来调节焦距以符合偏转镜和激光在工件上的目标点之间的距离。这种varioSCAN可变扫描光学装置在没有合适的F-Theta镜头可用时尤其有用,例如在光束直径长或者象场较大时,在高的激光功率或者激光波长特别时就可以使用。此外,这些varioSCAN可变扫描光学部件在扫描范围内可实现三维加工,它们可以被单独使用,或者与F-Theta镜头一起使用。

图4:友好的图形用户界面(GUI)软件(美国Alase Technologies公司和LaserWare公司)
提供了用户和扫描设备控制器之间的接口界面。
带有存储器的DSP控制面板,其功能是作为应用软件,扫描头和激光器之间的硬件接口界面。这些面板使激光控制和扫描器移动以及图象修正的完成之间实现同步,以确保文字被精确的定位而不会出现枕形失真并且也同时确保标记过程速度恒定。
对材料的微加工来说,可以使用动力学特性很精密的专门扫描头,快速冷却电机以及/或者电子设备来实现长期漂移的最小化。对孔径为14mm的扫描头可以配备附加的高精度位置检测器用来自动校准。

图5:用来满足应用中高要求的全数字式intelliSCAN 10。
技术创新
新材料,新的激光光源的出现以及生产工艺的进步都将带来用于材料加工的扫描系统的有力发展。
其进一步的优势在于能够通过软件来监控扫描系统的状态参数,这就为远程诊断和客户支持等领域的使用提供了新的可能。扫描器的位置和速度的参数可以被数字化查询,并在以后的加工过程使用。