消除电子显微镜电子能量损失谱的能量漂移的方法及装置

一种消除电子显微镜电子能量损失谱的能量漂移的方法及装置，属于能谱测量分析和显微分析领域。该方法通过在电子显微镜１镜筒处的电子能量分析仪２接收电子能量，然后通过串行快响应能谱探测器３将接收到的电子能量损失谱经漂移检测模块５获得能谱漂移量后，将能谱漂移量输入到自适应限波器６，由自适应限波器根据信号发生器８提供的参考信号得到下一周期预测量，将预测量变换后输出到电子束漂移管９的电压控制电路或经高低压隔离模块１０输入电子显微镜１的高压发生器１１。使用该方法及相应装置能够实现对电子能量损失谱接受过程中可能出现的固定窄带频率干扰下能量漂移进行有效抑制。