样品支架的取放装置以及扫描式电子显微镜
发布日期：2011-10-31 来源：网络
申请号/专利号： 201020210203
本实用新型公开了一种样品支架的取放装置以及扫描式电子显微镜，所述样品支架包括一滑动部，所述样品支架的取放装置包括：底座以及设置于所述底座上的滑道，所述滑道与所述滑动部滑动连接。所述样品支架的滑动部可恰好延伸到所述滑道内并在所述滑道内滑动，所述滑道可限定所述样品支架的移动方向，使得操作人员可快速准确的从样品室中推进或取出样品支架，确保所述样品支架在取放过程中不会碰撞扫描式电子显微镜的其它部件。
| 申请日： | 2010年05月28日 |
| 公开日： | |
| 授权公告日： | 2010年12月22日 |
| 申请人/专利权人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 申请人地址： | 上海市张江路18号 |
| 发明设计人： | 袁刚;潘贤俊 |
| 专利代理机构： | |
| 代理人： | 屈蘅 李时云 |
| 专利类型： | 实用新型专利 |
| 分类号： | G01Q30/00;G01Q30/02 |
(本文来源：网络 责任编辑：expert)
上一篇：标定高倍透射电子显微镜放大倍数测量的标准样品
下一篇：显微镜（Ｍ３）
频道月排行
频道总排行
