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一种用于扫描力显微镜上安装悬臂梁探针的卡具

发布日期:2011-10-31 来源:网络
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申请号/专利号: 200710301961
本发明涉及一种用于扫描力显微镜上安装悬臂梁探针的卡具。卡具由楔形块、磁铁、卡具主体和紧固小螺栓组成,卡具主体的下半部为筒体,上半部的一侧带有凸耳,凸耳上开有至筒体内壁的开口槽,开口槽将凸耳分为两片,一片上开螺纹孔,另一片上开光孔;卡具主体的上半部在带有凸耳一侧的内圆中设置半圆形平台,半圆形平台自圆心径向开有凹槽,半圆形平台的底部开有中心对称并与楔形块宽度和楔形块上底边厚度相同的通槽,通槽中嵌入楔形块;卡具主体上半部与下半部接壤处的外缘上沿凸耳向卡具主体中心开狭槽。该卡具安装到扫描力显微镜的扫描器上时定位准确、长期频繁使用可靠性和重复性好,悬臂梁探针容易更换并能够沿悬臂梁方向前后位置可调。
申请日:2007年12月24日
公开日:2008年05月21日
授权公告日:
申请人/专利权人:中国航空工业第一集团公司北京长城计量测试技术研究所
申请人地址:北京市1066号信箱
发明设计人:陈晓梅;马晓苏;朱振宇
专利代理机构:中国航空专利中心
代理人:李建英
专利类型:发明专利
分类号:G12B21/22;G12B21/02
(本文来源:网络 责任编辑:expert)

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