一种超高分辨率的磁力显微镜探针的制备方法

一种超高分辨率的磁力显微镜探针的制备方法，属于材料技术领域，包括以下步骤：（１）将无涂层Ｓｉ探针用超声波清洗；（２）将经过清洗的无涂层Ｓｉ探针固定在磁控溅射设备的样品腔中，在磁控溅射设备的样品腔中通入惰性气体ａ；（３）将Ｆｅ和Ｐｔ共溅射到无涂层Ｓｉ探针表面；（４）在惰性气氛下加热到５００～８００℃进行热处理，使ＦｅＰｔ合金涂层转化为Ｌ１↓［０］－ＦｅＰｔ合金涂层。本发明制备的磁力显微镜探针可以大幅度提高磁力显微镜的分辨率，横向分辨率已经达到了１０纳米以内；本发明的方法简便易行；在对纳米磁性材料的表征、深化研究磁性纳米结构等领域具有重要意义。