一种真空原子力显微镜及其使用方法

本发明公开了一种真空原子力显微镜及其使用方法，属于微观形貌检测设备领域，其包括电子束发射装置、二次电子探测器、带悬臂梁的探针、压电陶瓷扫描器和反馈控制器。工作时，将电子束照射于探针悬臂梁上，由于探针与样品原子之间的作用力而引起悬臂梁的形变，将产生二次电子信号的变化，通过对该信号进行反馈可控制针尖和样品之间处于恒定作用力，针尖在样品表面逐点扫描，可对样品表面形貌成像。本发明无需引入目前常用的光杠杆系统，克服了常规原子力显微镜应用于真空环境下带来的设计困难，综合两种纳米材料表征手段即原子力显微镜和电子显微镜的优势，可实现对材料从毫米尺度到亚纳米尺度精度的连续测量。