一种扫描探针显微镜的高精度测量方法

一种扫描探针显微镜的高精度测量方式。将标准样品和被测样品分别固定在ｘｙ微位移移动平台（３）的上、下表面，再将原子力显微镜（１）和扫描隧道显微镜（２）分别置于ｘｙ微位移移动平台（３）的上下方。扫描隧道显微镜（２）记录标准样品的形貌，而原子力显微镜（１）记录样品的形貌。标准样品和样品位置固定，所以在扫描过程中，由于平台抖动或其他震动引起的误差会同时体现在标准样品和样品的形貌信号上。选用的标准样品为石墨样品，其形貌具有周期性，可以利用这点得到扫描过程中每点震动引起的误差。将这个误差与样品的形貌信号整合就可以得到样品的精确形貌。