硅片超精密磨床的发展现状

                                           硅片超精密磨床的发展现状        

摘　 要： 硅片超精密磨床是半导体集成电路（ＩＣ）制造中的关键装备，主要应用于ＩＣ制程中的硅片制备加工和ＩＣ后道制程中图形硅片的背面减薄。国外硅片超精密磨床制造技术发展很快，具有高精度化、集成化、自动化等特点。介绍了超精密磨床在大尺寸（≥φ300 ｍｍ）硅片超精密加工中的应用状况，详细评述了国外先进硅片超精密磨床的特点，并指出了大尺寸硅片超精密加工技术的发展趋势。
　　关键词：超精密磨床；超精密磨削；金刚石砂轮；硅片；集成电路（ＩＣ）