位移检测机构及使用该位移检测机构的扫描型探头显微镜
发布日期：2013-01-22 来源：网络
申请号/专利号： 201210052249
本发明的目的在于，提供一种非光学杠杆方式或自检测型的位移检测的悬臂位移检测机构以及使用该悬臂位移检测机构的扫描型探头显微镜。利用由ＬＣ谐振器和Ｆ－Ｖ变换器构成的悬臂位移检测器，检测悬臂与试样表面间的静电电容变化，从而能够检测悬臂的位移。由此，能够在遮断光的状态下进行形状测定或物性测定，并且，能够测定由于有光无光引起的试样的形状或物性信息的变化。
| 申请日： | 2012年03月01日 |
| 公开日： | 2012年09月05日 |
| 授权公告日： | |
| 申请人/专利权人： | 精工电子纳米科技有限公司 |
| 申请人地址： | 日本千叶县 |
| 发明设计人： | 广瀬龙介 |
| 专利代理机构： | 北京三友知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 李辉 马建军 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 分类号： | G01Q10/00 |
(本文来源：网络 责任编辑：expert)
上一篇：一种显微镜平台调节用粗微动调焦同轴结构
下一篇：一种观察植物根内部显微结构的方法
频道月排行
频道总排行
