一种减小在线扫描电子显微镜误测定的方法

在先进的半导体制造工艺中，条宽控制一直是重中之重。扫描电子显微镜作为在线条宽测量设备，要求能够最大限度地减少误测，确保数据真实可靠。但在实际操作中，误测定难以避免。尤其在测量较细的密集线条时，很容易出现想要测量线条却测成了相邻间距的情况。本发明提出一种减小在线扫描电子显微镜误测定的方法，其通过在测量中对所测结构二次电子信号进行分析的方法来判断所测结构是线条还是间距，再将其与测量文件要求的结构进行比较，判定二者是否一致，并在判定二者不一致时自动向左或向右移动半个空间周期来测量正确结构，从而有效减少误测定。