干涉相位差显微镜

本发明公开了一种干涉相位差显微镜，适于检测于量测区内的待测物。干涉相位差显微镜包括光源、分光镜与影像传感器，其中分光镜是将光源所产生的光束反射至量测区，而光束从量测区被反射后会穿过分光镜而入射影像传感器。干涉相位差显微镜更于光束的光路上配置第一偏极片、第二偏极片、第一干涉相位差棱镜、波板以及第二干涉相位差棱镜，其中第一偏极片是位于光源与分光镜之间，而第二偏极片是位于分光镜与影像传感器之间，且第一干涉相位差棱镜、波板以及第二干涉相位差棱镜是依序位于分光镜与量测区之间。第一干涉相位差棱镜的主轴与第二干涉相位差棱镜的主轴夹９０度角。