一种显微镜反射照明系统

本实用新型提供一种显微镜反射照明系统，包括依次设置的光源、第一透镜、第二透镜和显微物镜。光源为可见光和紫外光，第一、第二透镜之间的间距为７０ｍｍ～１００ｍｍ，第二透镜于接收光线的一侧的球面半径为１８０ｍｍ～２００ｍｍ，且第二透镜的焦距为８０ｍｍ～１００ｍｍ。可见光或紫外光光源照射于第一透镜后，整形成有一定面积的均匀光斑，整形后的光线由第二透镜汇聚，照射于显微物镜上，从而为显微系统提供反射照明。该系统可以选择使用可见光和紫外光，因此利用可见光与紫外光的波长特点，用可见光给低倍物镜提供照明，寻找显微物面；切换为高倍物镜后，利用紫外光提高显微系统的分辨率，从而提高激光微细加工的精度。