一种基于纳米压痕卸载曲线的薄膜厚度测试方法
发布日期：2011-09-15 来源：网络
申请号/专利号： 201010166498
本发明提出一种测量固体薄膜厚度的新方法，属于分析仪器及其材料性能测试技术领域。所述方法采用纳米压痕仪，通过改进纳米压痕卸载曲线的分析方法从而测量薄膜的厚度。所述方法对所有薄膜厚度的测试均基于纳米压痕技术，通过分析卸载曲线的一个代表残余应力项的拟合参数和最大载荷的比值的极值确定出膜厚。所述方法可以在不露出基体表面的情况下进行，不需要对已有的设备进行改装，只需改变分析方法，适用范围广泛，任何膜厚小于纳米压痕仪最大压痕深度的薄膜材料都可以使用。
| 申请日： | 2010年05月10日 |
| 公开日： | 2010年09月22日 |
| 授权公告日： | |
| 申请人/专利权人： | 中国地质大学（北京） |
| 申请人地址： | 北京市海淀区学院路29号 |
| 发明设计人： | 温涛;彭志坚;龚江宏;王成彪;付志强;于翔;岳文 |
| 专利代理机构： | |
| 代理人： | |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 分类号： | G01B21/08 |
(本文来源：网络 责任编辑：expert)
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